IHTM PLAVI
Univerzitet u Beogradu
Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Institut od nacionalnog značaja za Republiku Srbiju

Piezootporni silicijumski senzori pritiska

Silicijumski senzori pritiska

sicilijumski senzoriSenzor pritiska je osetlјivi element koji konvertuje mehanički napon u električni signal.

Svi naši senzori pritiska bazirani su na piezootpornim mikročipovima sa profilisanom dijafragmom izrađenom zapreminskim mikromašinstvom u koju je ugrađen minijaturni Vitstonov most.

Svi naši senzori i njihovi čipovi u potpunosti su koncipirani, projektovani, razvijeni i proizvedeni u našim laboratorijama.

Senzore isporučujemo testirane i inkapsulirane u kućište. Senzori za medicinske primene isporučuju se kao čipovi bez kućišta.

Senzori niskog pritiska

Senzori serija NP i NPT projektovani su za merenja niskog pritiska, ispod 0.5 bar. Za razliku od serije NP, senzori serije NPT imaju dodatni senzor temperature ugrađen u isti čip primenom planarne tehnologije. Ugrađeni senzor temperature omogućuje temperatursku kompenzaciju očitavanja senzora baziranu na mikroprocesoru. Ove serije senzora naročito su pogodne za korišćenje u industrijskim mernim transmiterima pritiska. Senzori serija NP i NPT mogu biti ugrađeni u različita kućišta, zavisno od konkretne primene.

Kataloške stranice sa podacima o našim senzorima niskog pritiska možete snimiti ovde.

Senzori srednjeg pritiska

Senzori serija SP i SPT projektovani su za merenja niskog pritiska, od 0.25 bar do 25 bar. Za razliku od serije SP, senzori serije SPT imaju dodatni senzor temperature ugrađen u isti čip primenom planarne tehnologije. Ugrađeni senzor temperature omogućuje temperatursku kompenzaciju očitavanja senzora baziranu na mikroprocesoru. Senzori se ugrađuju u standardno TO-5 kućište, ali se mogu ugraditi i u druge tipove kućišta, zavisno od primene.

Kataloške stranice sa podacima o našim senzorima srednjeg pritiska možete snimiti ovde.

Senzori visokog pritiska

Senzori serija VP i VPT projektovani su za merenja visokog pritiska, od 25 to 1000 bar.

Kataloške stranice sa podacima o našim senzorima visokog pritiska možete snimiti ovde.

Multisenzorski nizovi

Matrični senzori pritiska MSP-32 namenjeni su istovremenom merenju pritiska u 32 različite tačke. Sastoje se od 32 precizna poluprovodnička senzora pritiska izrađena procesom Iso-Boron, ugrađenog multipleksera i instrumentacionog pojačavača. Senzori pritiska ugrađeni su u termostatiranu komoru. Multiplekser sa digitalnim upravlјanjem omogućuje do 10.000 merenja u sekundi proizvolјnim redosledom. MSP-32 isporučuju se u potpunosti testirani, zajedno sa kontrolnim softverom. Moguće je naručiti i matrice sa drugim brojem senzora.

Kataloške stranice sa podacima o našim 32-elementnim senzorima možete snimiti ovde.

Senzori pritiska za medicinsku upotrebu

Senzor pritiska SP-7 namenjen je upotrebi u medicinskoj instrumentaciji. Specijalna konstrukcija omogućuje jednostavnu temperaturnu kompenzaciju u jednom koraku upotrebom NTC otpornika. Orijentacija nije neophodna.

Kataloške stranice sa podacima o našim senzorskim čipovima za medicinsku upotrebu možete snimiti ovde.

Ugrađena zaštita od preopterećenja

Naši piezootporni mikročipovi imaju ugrađenu zaštitu od preopterećenja koja je deo samoga senzorskog čipa i koja omogućava da izdrže velike natpritiske, kako kontinualne, tako i u vidu hidrauličnih udara ("water hammer"). Ova zaštita razvijena je u Centru za mikroelektronske tehnologije i omogućuje senzorima da bez ikakvih oštećenja i naknadnih posledica izdrže preopterećenja i do nekoliko stotina puta veća od nominalnih.

  • Finansiran od EU kao zapadnobalkanski centar izvrsnosti za mikro i nanosistemske tehnologije Regmina FP7

  • Centar izuzetnih vrednosti MPNTR za mikro i nanosistemske tehnologije od 2014.

  • Nosilac sertifikata ISO 9001.

Kontakt

centar za mikoelektronske tehnologije

Centar za mikroelektronske tehnologije

Adresa:
Njegoševa 12
11000 Beograd 
Laboratorije:
Studenski trg 16/III, Beograd
Telefon: +381 11 2638 188
Fax:+381 11 2182 995
e-mail:
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs