Rukovodioci: Žarko Lazić, Milče M. Smilјanić

Grupa se bavi koncipiranjem, projektovanjem, izradom i testiranjem struktura, komponenti, naprava i sistema.
To uklјučuje osmišlјavanje, projektovanje i izradu čipova MEMS i NEMS senzora i aktuatora, kao i razvoj specifičnih postupaka planarne tehnologije i mikromašinstva.

Tematika

• MEMS senzori
• MEMS aktuatori
• Piezootporni senzori pritiska:
  - MEMS čip senzora niskog pritiska za povišene radne temperature do 300⁰C
  - MEMS čip senzora pritiska sa ugrađenom blokadom preopterećenja
• Višenamenski MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta
• Inercijalni senzori
• MEMS mikroreaktori
• Mikroaktuatori
• silicijumske PIN fotodiode